ESTUDO DA RESISTÊNCIA À CORROSÃO DE FILMES FINOS FORMADOS POR PLASMA EM AÇO AISI 316L UTILIZANDO GAIOLA CATÓDICA DE HASTELLOY

Abstract

RESUMO Neste trabalho, foi investigado o uso de Hastelloy C-276 como gaiola catódica para a deposição de filmes finos sobre o substrato de aço AISI 316L por plasma. Os filmes foram tratados a 350, 375 e 400°C por 4 horas com uma mistura hidrogênio-nitrogênio na proporção de 40% e 60%, respectivamente, por potencial flutuante. Os filmes finos foram examinados por difração de raios X, microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia Raman e polarização potenciodinâmica. Os resultados da espectroscopia indicaram a formação de várias fases como FeNi3, CrNi e MoN1/2. Os filmes preparados a 375 ºC apresentaram excelente resistência à corrosão com menor potencial de corrosão negativo (-0,020 V). O aumento e diminuição dos teores de FeNi3 e CrNi acompanham o aumento da temperatura aplicada, o que não tem efeito positivo na resistência à corrosão dos filmes.

ABSTRACT In this work, the use of Hastelloy C-276 as a cathodic cage for the deposition of thin films on AISI 316L steel substrate by plasma was investigated. The films were treated at 350, 375 and 400°C for 4 hours with a hydrogen-nitrogen mixture in the ratio of 40% and 60%, respectively, by floating potential. The thin films were examined by X-ray diffraction, scanning electron microscopy, Raman spectroscopy, and potentiodynamic polarization. The spectroscopy results indicated the formation of various phases such as FeNi3, CrNi and MoN1/2. The films prepared at 375 °C showed excellent corrosion resistance with lowest negative corrosion potential (-0.020 V). The increase and decrease of FeNi3 and CrNi contents follow the increase of applied temperature, which has no positive effect on the corrosion resistance of the films.